原標(biāo)題：全省首條12英寸集成電路用大硅片生產(chǎn)線通線

來(lái)源：大眾報(bào)業(yè)·大眾日?qǐng)?bào)

原標(biāo)題：全省首條12英寸集成電路用大硅片生產(chǎn)線通線

來(lái)源：大眾報(bào)業(yè)·大眾日?qǐng)?bào)

10月16日，山東有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目在德州天衢新區(qū)實(shí)現(xiàn)通線，這是山東第一條12英寸集成電路用大硅片生產(chǎn)線，標(biāo)志著山東在完善集成電路產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)上邁出了關(guān)鍵一步。該項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后將形成120萬(wàn)片/年的生產(chǎn)規(guī)模。

10月15日，記者在山東有研艾斯生產(chǎn)車間看到，單晶硅棒被切割成厚度僅一毫米直徑約305毫米（12英寸）的硅片，再經(jīng)過(guò)倒角、研磨等40-50道工序，最終硅片出廠時(shí)最高與最低的平整度誤差不能超過(guò)0.1微米。山東有研艾斯總經(jīng)理閆志瑞指著一片硅片向記者介紹，硅片即“晶圓”，相當(dāng)于芯片的“地基”。與芯片越小科技含量越高的制程工藝不同，硅片是越大則對(duì)材料和技術(shù)的要求越高。12英寸硅片的面積是8英寸的2.25倍，可使用率是8英寸的2.5倍左右，單片產(chǎn)出的芯片數(shù)量和經(jīng)濟(jì)效益明顯增加。

隨著集成電路制程和工藝的發(fā)展，硅片趨向大尺寸化和制程精細(xì)化，12英寸硅片為當(dāng)前及未來(lái)較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)的主流產(chǎn)品。

2018年以來(lái)，中國(guó)有研科技集團(tuán)在山東德州投資近百億元，落地7個(gè)項(xiàng)目，已投產(chǎn)4個(gè)。2020年，8英寸集成電路用大硅片通線量產(chǎn)，再到今天12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目通線，山東德州成為有研在全國(guó)投資布局規(guī)模最大、業(yè)務(wù)領(lǐng)域最廣的科技成果轉(zhuǎn)化基地。德州天衢新區(qū)依托中國(guó)有研“集成電路關(guān)鍵材料國(guó)家工程研究中心”，打造中國(guó)集成電路關(guān)鍵材料（德州）基地，將成為北方最大的集成電路用大硅片生產(chǎn)基地。

企業(yè)投資持續(xù)“加碼”，中國(guó)有研科技集團(tuán)有限公司黨委委員、副總經(jīng)理周旗鋼信心十足，“投資項(xiàng)目進(jìn)展順利、運(yùn)行正常，事實(shí)證明當(dāng)初選擇山東、選擇德州是正確的。”他表示，德州將有研作為鏈主企業(yè)重點(diǎn)培育，精心建設(shè)專業(yè)園區(qū)，形成了較為完善的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)，“有研也將充分發(fā)揮頭部效應(yīng)，集聚更多上下游企業(yè)落戶德州。”

據(jù)悉，德州近五年來(lái)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值年均增長(zhǎng)近20%。山東有研入選省級(jí)“雁陣形”產(chǎn)業(yè)集群領(lǐng)軍企業(yè)庫(kù)，天衢新區(qū)電子信息（集成電路）入選山東省戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和特色產(chǎn)業(yè)集群，已成為全省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要增長(zhǎng)極，一批高端優(yōu)質(zhì)項(xiàng)目聚“鏈”成“群”，蓬勃發(fā)展。

（大眾日?qǐng)?bào)記者 賀瑩瑩 通訊員 韓哲 報(bào)道）

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